擁有自主的知識產(chǎn)權,生產(chǎn)自主可控天津設立了半導體裝備研發(fā)和生產(chǎn)基地擁有專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、客戶服務團隊專注于薄膜沉積設備的自主研發(fā)和工藝解決方案應用于微電子、傳感器、汽車電子、光學及能源等領域存量的客戶有研究所、國家重點實驗室、大學和芯片代工廠等"/>
控制器由PLC和PC組成,用戶界面友好
密碼等級管理
必要的安全互鎖
手動和自動操作模式
實時監(jiān)控工藝參數(shù)
工藝數(shù)據(jù)可追溯,歷史數(shù)據(jù)曲線圖表精確
支持SEMI SECS / GEM標準通訊協(xié)議和MES系統(tǒng)
專有軟件永久使用權,終身升級